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MEMS技术大幅降低近红外线光谱仪尺寸

作者:博亚体育app手机版 时间:2021-09-21 00:17
本文摘要:德国佛罗恩霍夫电子纳米系统研究所(ENAS)与克姆尼茨工业大学(TUChemnitz)联手,联合研究如何将大型且轻巧的实验室设备增大到微米或纳米级规模。上周,在德勒斯安(Dresden)参与欧洲半导体展览(SEMICONEurope),研究人员们展出了一款基于微机电系统(MEMS)光线与绕射光闸的近期微米与纳米级光谱仪。 Fraunhofer研发出有可携的手执将近红外线光谱仪,利用MEMS技术减少尺寸与价格,可代替当今所用的大型、便宜设备。

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德国佛罗恩霍夫电子纳米系统研究所(ENAS)与克姆尼茨工业大学(TUChemnitz)联手,联合研究如何将大型且轻巧的实验室设备增大到微米或纳米级规模。上周,在德勒斯安(Dresden)参与欧洲半导体展览(SEMICONEurope),研究人员们展出了一款基于微机电系统(MEMS)光线与绕射光闸的近期微米与纳米级光谱仪。  Fraunhofer研发出有可携的手执将近红外线光谱仪,利用MEMS技术减少尺寸与价格,可代替当今所用的大型、便宜设备。

  佛罗恩霍夫协会(FraunhoferGesellschaft)享有67所机构遍及德国,每个机构各专心于有所不同的应用于与技术,总共雇佣了23,000名科学家与工程师,研发支出高达20亿美元,其中的30%来自政府资助,其他70%则来自与产业的合作。  基于MEMS的光谱仪有两种尺寸——小型与微型级。

较小尺寸的机型约有鞋盒的三分之一(相形之下,现有的实验室光谱仪尺寸相等于行李箱大小),利用MEMS光学阻碍滤波器,普遍涵括3-11微米波长。各不相同所用于的阻碍量级,仅有长/半低(FWHW)比特率约可超过50-200nm的纳米级。  微型MEMS光谱仪的原始探测模块,使用TO-8PCB  电子固定式的通频带利用2个大于且可移动的光线载子,超过70%以上的仅次于透射率,并能施力于光线间隔上引发的振动与重力最小化。  目前用作微型光谱仪中大于Fabry-Perot干涉仪(FPI)的芯片尺寸大约7mmx7mmx0.6mm  较小的光谱仪可用作代替实验室中不必须超过最低灵敏度或光谱范围的光谱仪,或是作为代替某些特定应用于光谱仪的理想自由选择。

其他应用于还包括工业工艺光谱仪、沼气厂房掌控、燃油监测系统以及食品质量分析。  较小的光谱仪基于Fabry-Perot干涉仪(FPI),可打造出不足以塞进TO-8PCB的小尺寸。这款FPI芯片尺寸为7x7x0.6mm2,用作拓展标准相同波长多色红外线探测器的功能。

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其极低价格和小尺寸使其适合于红外线光谱的大量应用于,还包括光谱光学、医疗测量、工业气体分析仪、波动式全反射(ATR)传感器、手持式分析仪、传感器网器、警告与安全性系统等。


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